林賽斯薄膜綜合物性分析儀TFA概述
基本測量單元 : 測量室,真空泵,帶加熱器的支架,電子頰側(cè)裝置,集成鎖相放大器,3w方法分析軟件,計算機和應(yīng)用軟件??蓽y以下物理參數(shù): l -熱傳導(dǎo)系數(shù) (穩(wěn)態(tài)法/平面內(nèi)方向) r – 電阻率 s – 電導(dǎo)率 S – 賽貝克系數(shù) e – 發(fā)射率 cp – 比熱容
磁測量單元: 可根據(jù)需求選擇集成式電磁鐵,可測物理參數(shù)如下: AH – 霍爾常數(shù) μ –遷移率 n -載流子濃度
薄膜材料性能有別于塊體材料之處
– 因小尺寸和高縱橫比所導(dǎo)致的表面效應(yīng)如:邊界散射和量子限域效應(yīng)
林賽斯薄膜綜合物性分析儀TFA特點
★ 高效便捷的薄膜材料表征手段(nm到um薄膜測試)。 ★ 不同溫度下的測量(-170 to 200℃<-可選300℃>) ★ 樣品易于制備和處理 ★ 高的測量適應(yīng)性 (樣品厚度,電阻率,沉積方式) ★ 一個樣品,一次同步測量即可獲得所有相關(guān)參數(shù)。 ★ 適用于金屬、陶瓷及有機材料。
蘇公網(wǎng)安備 32050502000404號